在半導(dǎo)體行業(yè)中,有許多常用的縮寫和術(shù)語。以下是一些常見的半導(dǎo)體縮寫及其解釋:
1. PSG:磷硅玻璃(Phosphorus Silicate Glass)
2. TF:薄膜(Thin Film)
3. PVD:物理氣相淀積(Physical Vapor Deposition)
4. PHO:光刻(Photolithography)
5. PCB:印刷電路板(Printed Circuit Board)
6. DIF:擴(kuò)散(Diffusion)
7. RF:射頻(Radio Frequency)
8. II:注入(Implantation)
9. UV:紫外線(Ultraviolet)
10. CVD:化學(xué)氣相淀積(Chemical Vapor Deposition)
11. VPE:氣相外延(Vapor Phase Epitaxy)
12. SPV:擴(kuò)散長度(Diffusion Length)
13. Bubbler:鼓泡器
14. CD:關(guān)鍵尺寸(Critical Dimension)
15. EMO:設(shè)備緊急按鈕(Equipment Emergency Off)
16. CD-SEM:線寬掃描電鏡(Critical Dimension Scanning Electron Microscope)
17. Scrubber:尾氣處理器
18. ETCH:刻蝕(Etching)
19. Coat:包硅(Coating Silicon)
20. H2-BAKE:氫氣烘烤(Hydrogen Bake)
21. SRP:外延層縱向電阻率分布(Specific Resistivity Profile)
這些縮寫在半導(dǎo)體制造、研發(fā)、測試等環(huán)節(jié)中經(jīng)常被使用。了解這些縮寫有助于更好地理解半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)術(shù)語和技術(shù)。
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